Wenn man sich vorstellt, dass die Strukturbreite einer elektronischen Leiterbahn auf einem Mikrochip rd. 30 – 250 nm beträgt und im Vergleich dazu ein menschliches Haar 300-mal so dick ist, erhält man einen Eindruck davon, wie hoch die Anforderungen sind, die an die Reinraumtechnik und deren Filtersysteme gestellt werden.
Als Hochleistungsschwebstofffilter für die Abscheidung von Kleinstpartikeln in Reinraumanlagen kommen HEPA- und ULPA-Filter zum Einsatz. Sie gewährleisten eine besonders hohe Luftreinheit und sind in der Lage, selbst Keime und Partikel im Submikrometer-Bereich zurückzuhalten.
Denny Kaulfuß
Vertriebsleiter Filtertechnik Deutschland
Telefon: +49 177 / 297 08 27
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